硅基Ba0.7Sr0.3TiO3介质层的电润湿效应

来源 :金陵科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aspbasicer

【摘要】

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采用特定的＂单晶硅基片/Ba0.7Sr0.3TiO3层＂微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿（EWOD）特性。Ba0.7Sr0.3TiO3是一种钙钛矿结构的铁电体,它具有高的介电常数和低的漏电流

【作者】

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江博梁忠诚陈陶

【机构】

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南京邮电大学光电工程学院微流控光学技术研究中心

【出处】

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金陵科技学院学报

【发表日期】

：

2010年1期

【关键词】

：

Ba0.7Sr0.3TiO3 电润湿效应绝缘介电层参数 Ba0. 7Sr0.3TiO3 electrowetting-on-dieleetric pa

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采用特定的＂单晶硅基片/Ba0.7Sr0.3TiO3层＂微透镜阵列内芯材料,研究其表面的介质上电润湿（EWOD）特性。Ba0.7Sr0.3TiO3是一种钙钛矿结构的铁电体,它具有高的介电常数和低的漏电流特性,其相对介电常数可高达180。通过溶胶——凝胶的方法在单晶硅基底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜,分析对比了不同Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜厚度下的电润湿效应。实验结果表明,导电液滴接触角的余弦值随电压的增大而增大;在Ba0.7Sr0.3TiO3厚度不同的情况下Ba0.7Sr0.3TiO3层

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