【摘 要】
：
针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微
论文部分内容阅读
针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5～200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1：400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。
其他文献
为连续跨越洪湾水道与磨刀门水道通航孔,珠海洪鹤大桥主航道桥采用共用1个交接墩的2座主跨500 m结合梁斜拉桥串联方案,跨径布置为2×(73+162+500+162+73)m。该桥采用半飘
按照安全教育基地建设要求,明确基地道路安全警示教育规划总体目标和原则,并结合贵州交通职业技术学院选址实际,将总目标拆分成3大板块14大功能区域。运用现代声光电、5D技术
武汉青山长江公路大桥全长7.5476 km,主桥为主跨938 m的双塔双索面全飘浮体系斜拉桥,主桥桥面铺装采用浇筑式沥青混合料GA-10+高弹改性沥青混合料SMA-13,引桥桥面铺装采用SBS
通过对氢冷器冷却水管振动原因进行分析,得出氢冷器冷却水管振动是由定子铁芯电磁激振所引起的,通过在氢冷器与进、出口水管之间加装金属软管作为膨胀节,吸收氢冷器传递的二
党的十八大以来,党中央高度重视扶贫工作,把扶贫开发摆到了治国理政的重要位置,提出了精准扶贫、精准脱贫的基本方略,将我国扶贫开发推进到一个全新的阶段。但是,在精准扶贫
武汉杨泗港长江大桥主桥为主跨1700 m的单跨双层钢桁梁悬索桥。该桥2个桥塔均采用沉井基础,沉井下部为钢壳混凝土结构,上部为钢筋混凝土结构;锚碇采用外径98 m、壁厚1.5 m的
利用分子动力学分析方法对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微流控芯片模内键合过程进行模拟,研究聚合物界面分子的运动规律以及键合过程中界面结合能的变化规律,分析芯片键合强度的形成
针对MEMS等微小目标的高频面内振动的高精度快速检测的需要,提出了基于SURF算法的特征点匹配测量方法。该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上,使用SURF与RANSAC算法,对序列中相邻图像进行特征点的检测与匹配,再去除匹配结果中的粗大误差,获取待测目标的亚像素位移,并转化为实际的空间距离。试验结果表明,该方法可以达到100 nm的空间分辨率,实现对MEMS面内振动的高
假如美国国会在联邦政府预计于5月16日前后，达到当前的14．294万亿美元的最高负债上限之前不能设定新的最高负债上限，人们关心政府会面对怎样的局面。肩负保证政府正常运转重任的