用MWECR CVD系统制备具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜研究

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用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECRCVD)系统制备了具有非晶/微品两相结构的硅薄膜,研究了沉积温度和沉积压力等对制备微晶硅薄膜的结构和电学特性的影响。结果表明:较低的反应压和较高的衬底温度有利于获得非晶/微晶两相结构的硅薄膜,当反应压为0.7Pa、衬底温度为170℃时,得到非晶/微品两相结构的硅薄膜品相体积比约为30%;具有这种晶相体积比的非品/微晶两相结构的硅薄膜,μτ乘积值约为10^-5量级左右,比不含微品成分的氢化非晶硅样品的μτ乘积值大约2个量级,同时这种品相体积比的非晶/微晶两相结构的硅
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