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高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析
高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cpu1987
【摘 要】
:
总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1
【作 者】
:
王艳阳
石云波
王华
康强
杨志才
【机 构】
:
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器与电子学院
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2016年7期
【关键词】
:
MEMS
高量程
差动式激光干涉仪
高g值加速度计
不确定度
误差分析
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总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定,得到了传感器的参考灵敏度。
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