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本文介绍一种用红外光弹测量方法，对半导体单晶片及其哭喊 件结构中的应力分布进行观察、测量分析，并就其在教学炽的应用作一简介。
将红外光弹应力实时测量系统用于实验教学
【摘 要】
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本文介绍一种用红外光弹测量方法，对半导体单晶片及其哭喊 件结构中的应力分布进行观察、测量分析，并就其在教学炽的应用作一简介。
【机 构】
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华南理工大学应用物理系
【出 处】
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实验技术与管理
【发表日期】
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2000年3期
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