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本文叙述利用由光纤和折射率分布型透镜组成的探测器测量反射表面形状的装置。用光纤端面的反射和测量面的反射构成斐索干涉仪，通过半导体激光光源的电流调制进行相位调制。因为图中用D1所探测的光强度随激光的光强、测量面的光程差、干涉的能
利用光纤干涉法测量光学粗糙面的形状
【摘 要】
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本文叙述利用由光纤和折射率分布型透镜组成的探测器测量反射表面形状的装置。用光纤端面的反射和测量面的反射构成斐索干涉仪，通过半导体激光光源的电流调制进行相位调制。因
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年1期
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