基于多弧离子镀基体负偏压对复合膜层性能的影响

来源 :淮海工学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：wergsdf

【摘要】

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采用多孤离子镀技术在齿轮材料40Cr基体上制备Ti/N与Ti/Al/N复合膜层.在-定范围内改变基体负偏压,观察相应膜层的形貌和性能变化,分析基体负偏压对膜层表面形貌、膜层厚度、

【作者】

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张会霞肖健郭帅孟小峰张凤娇王为卢龙

【机构】

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淮海工学院机械工程学院

【出处】

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淮海工学院学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2017年2期

【关键词】

：

多弧离子镀复合膜层基体负偏压 multi-arc ion platingcomposite filmsubstrate negative bias

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采用多孤离子镀技术在齿轮材料40Cr基体上制备Ti/N与Ti/Al/N复合膜层.在-定范围内改变基体负偏压,观察相应膜层的形貌和性能变化,分析基体负偏压对膜层表面形貌、膜层厚度、膜基结合力及显微硬度的影响,得出基体负偏压设计范围内的-个最佳值,以获得膜层最优性能.实验表明,在-定范围内,膜层的性能随基体负偏压增加先增强后减弱.

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