【摘 要】
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使用银纳米线作为材料制备柔性叉指电极,用还原氧化石墨烯(reduced graphene oxide,rGO)作为气体敏感材料制备出柔性气体传感器,并研究其对二氧化氮气体的响应特性以及柔韧性
【机 构】
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空军工程大学基础部,西安,710051空军工程大学基础部,西安 710051;清华大学微电子学研究所,信息科学与技术国家实验室,北京 100084;清华大学微电子学研究所,信息科学与技术国家实验室,北
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使用银纳米线作为材料制备柔性叉指电极,用还原氧化石墨烯(reduced graphene oxide,rGO)作为气体敏感材料制备出柔性气体传感器,并研究其对二氧化氮气体的响应特性以及柔韧性能.实验结果表明,制备的以银纳米线作为电极的rGO气体传感器可以实现室温下对浓度为5—50 ppm(1 ppm=10–6)的NO2气体的检测,对50 ppm的NO2的响应能够达到1.19,传感器的重复性较好,恢复率能够保持在76％以上,传感器的灵敏度是0.00281 ppm–1,对浓度为5 ppm的NO2气体的响应时间是990 s,恢复时间是1566 s.此外,传感器在0°—45°的弯曲角度下仍表现出优异的电学特性与气体传感性能,所制备的器件具有相对稳定的导电性和较好的弯曲耐受性.
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