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通过对MEMS电容式加速度计的差分电容检测电路优缺点的比较，结合直流充放电检测方法和交流测量方法的优点，设计了微分检测电路，用方波作为载波。该电路由方波信号发生器、微分电路、全波整流电路和滤波电路组成。经试验验证：可检测到10^-16F的差分电容，且其非线性度小于±1％FS，可作为MEMS电容式加速度计的后续处理电路。