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为吸取磁栅位移传感器的优点并避免精度和分辨率较低的问题,设计了一种新型的磁栅位移传感器,磁头由线性霍尔元件阵列组成,磁栅由永磁体阵列构成。为提高原始电压信号的质量,采用三相六元件的信号发生方案,通过差分处理滤除了由于装配偏差和零点漂移带来的信号误差,并对磁栅信号发生装置结构进行了ANSYS有限元电磁场分析,依据磁场分析的结果选择磁头安装间隙。在磁栅绝对位移实现方面,采用两排磁钢的方法,一排编码,记录磁头所在的周期;一排用来记录每个正弦周期的相对位移。相对位移选择了基于查表方式的信号处理算法,降低了处