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由纳米硬度计可测得载荷-压深曲线，并由原子力显微镜可以扫描得到压痕图。在对单晶硅压痕硬度的检测试验中，用Matlab软件对获得的数据进行处理，编制了利用压痕边长法、直接面积法、Olive-Pharr法和压痕功法等计算压痕硬度方法的程序，可以自动计算压痕的面积和体积并计算得到单晶硅的硬度值。
基于AFM的压痕硬度自动检测算法的研究
【摘 要】
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由纳米硬度计可测得载荷-压深曲线，并由原子力显微镜可以扫描得到压痕图。在对单晶硅压痕硬度的检测试验中，用Matlab软件对获得的数据进行处理，编制了利用压痕边长法、直接面积
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,济南钢铁集团总公司
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2007年1期
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