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概述化学气相沉积技术的一般原理与技术,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况,着重介绍化学气相沉积技术在制备贵金属薄膜和涂层领域的最新进展.
化学气相沉积技术与材料制备云南省应用基础研究基金
【摘 要】
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概述化学气相沉积技术的一般原理与技术,总结化学气相沉积技术在材料制备方面的发展与应用状况,着重介绍化学气相沉积技术在制备贵金属薄膜和涂层领域的最新进展.
【机 构】
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昆明贵金属研究所,
【出 处】
：
稀有金属
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
：
云南省应用基础研究项目
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