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期刊论文
法布里—珀罗干涉仪的发展与应用
法布里—珀罗干涉仪的发展与应用
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pjq521
【摘 要】
:
本文介绍了采用微机械加工技术制成的法布里-珀罗干涉仪的原理、结构、特性和应用.
【作 者】
:
白韶红
【机 构】
:
北京市城市建设工程研究院工程检测中心
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2001年7期
【关键词】
:
法布里-珀罗干涉仪
工作原理
微机械加工
Fabry-Perot interferometer
Micromachining Microsensor
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本文介绍了采用微机械加工技术制成的法布里-珀罗干涉仪的原理、结构、特性和应用.
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