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介绍了一种用光电技术及数据采集技术对国产镀膜设备进行数字化改造的系统,阐述了其前端信号调理电路、数据采集卡的工作方式,信号处理及频谱分析的程序.对该系统所作大量的实验证明了新系统大大提高了设备对膜层厚度的控制精度.
镀膜监控系统性能的分析
【摘 要】
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介绍了一种用光电技术及数据采集技术对国产镀膜设备进行数字化改造的系统,阐述了其前端信号调理电路、数据采集卡的工作方式,信号处理及频谱分析的程序.对该系统所作大量的
【机 构】
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西安工业学院
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2003年3期
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