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利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
利用真空变温电阻测试仪研究VO2薄膜的电阻特性
【摘 要】
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利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻
【机 构】
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北京交通大学理学院物理实验中心
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2012年12期
【基金项目】
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中央高校基本科研业务费专项基金（No.2009JBM098）, 北京市自然基金（No.2113050）
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