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研究不同腐蚀时间下光伏微晶硅太阳电池衬底形貌及特性及其对电池性能的影响。利用多功能辐射型薄膜沉积系统生产电池膜层,对衬底进行0~50s的腐蚀,分析相关长度、表面粗糙度与腐蚀时间的关系,得出衬底散射率与腐蚀时间的关联。结合散射率与电池电学性能的变化,最终得出40s腐蚀后电池具有最佳的转换效率。该研究为微晶硅太阳电池的进一步优化提供了参考。