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用化学气相沉积法（CVD），在生长温度为600、650和700℃条件下，未采用任何催化剂制备了Mn掺杂ZnO纳米棒。研究发现，随着生长温度的升高，样品中O空位的浓度逐渐增加。低浓度的O空位可以增强Mn掺杂ZnO纳米棒的铁磁性，但O空位浓度过高时，Mn掺杂ZnO纳米棒表现出超顺磁性或反铁磁性。在3个样品中，650℃的样品具有最好的室温铁磁性，其饱和磁化强度为0．85μB/Mn，矫顽力为50Oe。