氮化硅全陶瓷球轴承沟道超精加工仿真与试验研究

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为提高氮化硅全陶瓷球轴承加工精度,探究套圈沟道最优超精工艺,应用ABAQUS仿真软件,建立氮化硅全陶瓷球轴承套圈沟道超精加工的仿真模型,通过改变不同超精工艺参数,分析沟道表面应力分布图。采用正交试验,用金刚石油石对氮化硅全陶瓷球轴承沟道进行超精加工,得到沟道表面形貌及粗糙度值。研究各超精工艺参数对沟道表面粗糙度的影响。结果表明:在工件切线速度为10.4 m/s、油石压力为0.9 MPa、油石摆动速度为1 250次/min时,沟道表面应力分布均匀,表面质量最好;较低的油石压力,较高的油石摆动速度导致沟道沟形精度变差;沟道表面粗糙度随着油石压力、超精时间的增加而降低,适当提高超精时间、油石压力、短行程震荡速度并维持长行程摆荡速度约为700次/min,有利于降低氮化硅套圈沟道表面粗糙度。合理的超精工艺可极大改善氮化硅陶瓷套圈沟道精磨脆性去除后留下的表面缺陷。
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