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离子镀TiN膜及其摩擦状态转化特性的研究

来源 :西南交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zx19910412

【摘 要】

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用热阴极离子镀制成ＴｉＮ膜，膜厚约３μｍ。用ＸＰＳ和ＸＲＤ分析膜的价态和结构表明：膜表层ＴｉＯ２含量较高，ＴｉＮ含较低。膜内主要由ＴｉＮ相构成，有较强择优取向。膜与衬底结合力强，其临界载荷达３５Ｎ，ＴｉＮ膜具有较高的显微硬度，较

【作 者】

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刘捍卫 陈元儒 

【机 构】

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西南交通大学材料工程系

【出 处】

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西南交通大学学报

【发表日期】

：

1994年2期

【关键词】

：

滑动摩擦 氮化钛膜 氧化膜 离子镀 sliding friction  TiN film oxide film 

【基金项目】

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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助

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用热阴极离子镀制成ＴｉＮ膜，膜厚约３μｍ。用ＸＰＳ和ＸＲＤ分析膜的价态和结构表明：膜表层ＴｉＯ２含量较高，ＴｉＮ含较低。膜内主要由ＴｉＮ相构成，有较强择优取向。膜与衬底结合力强，其临界载荷达３５Ｎ，ＴｉＮ膜具有较高的显微硬度，较低的摩擦系数和很好的抗磨性能。在球一盘式摩磨损试验机上，采用阶梯加载方式，测定了润滑条件下ＧＣｒ１５钢／ＴｉＮ膜滑动摩擦副的临界载荷－速度（ｐ－ｖ）图，分析了其摩擦状态转化

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