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用有限元法分析梳齿形电容式传感器,建立其数学模型。
梳齿形电容式传感器数学模型的建立
【摘 要】
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用有限元法分析梳齿形电容式传感器,建立其数学模型。
【机 构】
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包头职业技术学院电子工程系
【出 处】
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包头职业技术学院学报
【发表日期】
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2003年4期
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