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对利用射频磁控溅射及真空退火方法在（100）硅晶片衬底上制备的纳米晶碳化硅（SiC）薄膜，用纳米压痕仪进行了力学性能测试分析。纳米压痕技术测试给出两块SiC薄膜样品Ⅰ和Ⅱ的弹性模量／硬度分别约为106GPa／9．5GPa和175GPa／15．6GPa。纳米划痕技术测试两块SiC薄膜的摩擦系数分别约为0．02～0．15和0．05～0．18，显示出良好的润滑性能；对薄膜的临界附着力等进行测量以评价膜基结合强度，分析了划痕过程中薄膜近表面弹塑性变形和断裂信息。在原子力显微镜下对SiC薄膜样品的初始表面及残余压痕