论文部分内容阅读
通过在大面积区熔硅表面沉积金刚石膜,制作硅的红外增透膜。经扫描电镜观察,金刚石膜的颗粒尺寸平均约2μm,晶体颗粒形状规则;测试单面镀膜的红外透过率最高达65%,双面镀膜红外透过率最高达84%;实验证明硅表面金刚石具有一定的抗热冲击性能;分析了硅表面金刚石薄膜的红外增透特性,提出了进一步提高金刚石膜红外增透性能的方法。