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JEM—100CXⅡ电子显微镜全自动真空系统及其故障排除

来源 :中国医学物理学杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rlhRLH

【摘 要】

：

电子显微镜真空系统的作用是使镜筒内获得高真空。如镜筒内真空度差,则象的反差降低、电子束发射不稳定、灯丝寿命缩短,而且残余气体会污染样品。JEM—100CXⅡ电镜用二级扩散

【作 者】

：

杨文庆 

【机 构】

：

贵阳医学院

【出 处】

：

中国医学物理学杂志

【发表日期】

：

1991年Z1期

【关键词】

：

真空系统 真空度降低 JEM 开关元件 镜筒 故障排除 控制电路 残余气体 高真空 程序开关 

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电子显微镜真空系统的作用是使镜筒内获得高真空。如镜筒内真空度差,则象的反差降低、电子束发射不稳定、灯丝寿命缩短,而且残余气体会污染样品。JEM—100CXⅡ电镜用二级扩散泵串联,镜筒内真空度优于3×10^-5托(实际可以1×10^-6托)。本文拟对该电镜全自动真空系统:一、真空检测:用皮喇尼规和集成开关元件作控制电路,

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