【摘 要】
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采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺镓锌镁氧化物透明导电薄膜,通过霍耳效应仪和紫外-可见分光光度计的测试分析,研究了工作压强对薄膜光学和电学性能的影响.结果表明,所
【机 构】
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中南民族大学实验教学与实验室管理中心,中南民族大学电子信息工程学院
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418)
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采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了掺镓锌镁氧化物透明导电薄膜,通过霍耳效应仪和紫外-可见分光光度计的测试分析,研究了工作压强对薄膜光学和电学性能的影响.结果表明,所制备薄膜的电光性能与工作压强密切相关.当工作压强为3.6 Pa时,样品的电阻率最低为1.54×10^-3Ω·cm、可见光区平均透过率最高为87.72%、品质因数最大为4.72×10^3Ω^-1·cm^-1,具有最好的光电综合性能.采用外推方法获得了薄膜样品的直接光学能隙,结果显示其数值大于未掺杂的氧化锌.
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