【摘 要】
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回顾并分析了国内集成电路关键材料发展现况,特别是“八五”期间的新进展;着重分析关键材料通过科技攻关和相应的技术改造所取得的令人瞩目的进展;提出了发展我国集成电路材料的
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回顾并分析了国内集成电路关键材料发展现况,特别是“八五”期间的新进展;着重分析关键材料通过科技攻关和相应的技术改造所取得的令人瞩目的进展;提出了发展我国集成电路材料的思路和对策性建议。
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