【摘 要】
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交流激励式电容测量电路具有对外界干扰敏感与测量精度稳定性差的问题,文中针对该问题开发与设计了一种基于反馈的交流激励式电容测量电路,在电容前端加一反馈,具体为输出电
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交流激励式电容测量电路具有对外界干扰敏感与测量精度稳定性差的问题,文中针对该问题开发与设计了一种基于反馈的交流激励式电容测量电路,在电容前端加一反馈,具体为输出电压的倍数加入到初始输入,接着检波采用的是模拟乘法器与低通滤波器,最后得到采集的测量值。对该电路进行实验验证,测量的误差最大为20 nm,分辨率能够在0~650μm内达到30 nm。其结果表明,该电路具有较高的精度与稳定性,满足了电容微测系统的要求。
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