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采用等离子体化学气相沉积法制备了氧化铁气敏薄膜；用扫描电子显微镜分析了不同衬底及不同衬底温度对氧化铁薄膜表面形貌的影响。
氧化铁气敏薄膜的电子显微分析
【摘 要】
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采用等离子体化学气相沉积法制备了氧化铁气敏薄膜；用扫描电子显微镜分析了不同衬底及不同衬底温度对氧化铁薄膜表面形貌的影响。
【机 构】
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郑州轻工业学院化学工程系,中国科技大学材料科学与技术系
【出 处】
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郑州轻工业学院学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年S1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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