【摘 要】
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The growth of high-performance Mg-doped p-type AlxGa1-xN (x = 0.2) using metal-organic chemical vapor deposition is reported. The influence of growth conditions
【机 构】
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Key Laboratory for Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices of the Ministry of Education, S
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The growth of high-performance Mg-doped p-type AlxGa1-xN (x = 0.2) using metal-organic chemical vapor deposition is reported. The influence of growth conditions (growth temperature, magnesium flow, and thermal annealing temperature) on the electrical properties of Mg-doped p-type AlxGa1-xN (x = 0.2) has been investigated. Using the optimized conditions, we obtained a minimum p-type resistivity of 0.71 Ω·cm for p-type AlGaN with 20% Al fraction.
The growth of high-performance Mg-doped p-type AlxGa1-xN (x = 0.2) using metal-organic chemical vapor deposition is reported. The influence of growth conditions (growth temperature, magnesium flow, and thermal annealing temperature) on the electrical Properties of Mg-doped p-type AlxGa1-xN (x = 0.2) has been investigated. Using the optimized conditions, we obtained a minimum p-type resistivity of 0.71 Ω · cm for p-type AlGaN with 20% Al fraction.
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