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用微波方法在钼衬底上沉积出金刚石镶嵌非晶碳薄膜，对其场致电子发射特性和机理进行了研究，使该薄膜的场致发射电子激光发荧光屏，并观察到发光。
金刚石镶嵌非晶碳膜的场致电子发射研究
【摘 要】
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用微波方法在钼衬底上沉积出金刚石镶嵌非晶碳薄膜，对其场致电子发射特性和机理进行了研究，使该薄膜的场致发射电子激光发荧光屏，并观察到发光。
【机 构】
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郑州大学物理工程学院、河南省基础及应用科学研究所,电子工业部第十三研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年5期
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