【摘 要】
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介绍了一种基于上华0．6μmCMOS工艺实现的pH值传感器集成电路的设计和研究，它采用标准CMOS工艺提供的Si3N4钝化层作为氢离子敏感层，并以多层浮栅结构的ISFET作为传感单元．信号处
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介绍了一种基于上华0．6μmCMOS工艺实现的pH值传感器集成电路的设计和研究，它采用标准CMOS工艺提供的Si3N4钝化层作为氢离子敏感层，并以多层浮栅结构的ISFET作为传感单元．信号处理电路由基准电流源、恒流恒压控制电路、输出差分电路等组成，使电路输出信号与pH值的变化量呈线性关系．实测结果表明该电路在溶液pH值从1-13范围内输出电压的平均灵敏度为35．8mV／pH，线性度优于5％．该集成电路实现了pH值传感单元与信号处理电路的单片集成．
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