铌酸锂集成MZI型光波导大电流传感器

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采用集成光学技术,设计与研制出了一种用于大电流测量的集成光波导电流传感器,器件体积为78 mmx18 mmx9 mm.对带有多环形天线和调制电极的传感器结构进行了理论分析,并利用COMSOL Multiphysics软件建立传感器的三维模型,仿真验证了所设计的传感器可用于脉冲大电流的测量.搭建了脉冲大电流测量实验系统,对传感器性能进行测试.结果表明,传感器测量得到的脉冲电流时域波形与Pearson电流互感器测量得到的脉冲电流时域波形相比,波前时间Tf 和持续时间Td的平均相对误差分别为3.977 5%和5.437 5%.传感器在100~3300A的被测电流范围内,线性相关系数为0.998 97,当信噪比为6dB时,传感器最小可测电流为66 A.
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