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软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法
软X射线光学系统曲面镀膜膜厚测量方法
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rambo0316
【摘 要】
:
软X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚,并拟和出整个曲面的镀膜速率。为提
【作 者】
:
万志
杜温锡
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所电子印刷工程技术中心
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
软X射线多层膜
曲面基片
误差分析
soft X-ray multilayer
figured substrate
error
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软X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚,并拟和出整个曲面的镀膜速率。为提高控制精度,我们对同一片多层膜进行等精度多次测量,去除其中的粗大误差、系统误差,最后得到多层膜厚度的最佳估计值。
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