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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了ZnO薄膜,利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当掺杂量Al^3＋浓度增大时,晶体产生的张应力使晶格常数变大,衍射峰向小角度方向移动;相反,当Al^3＋浓度减小时,压应力使衍射峰向大角度方向移动.
Al掺杂对ZnO薄膜晶体结构的影响
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了ZnO薄膜,利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当掺杂量Al^3＋浓度增大时,晶体产生的张应力使晶格常数变大,衍射峰
【机 构】
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天津理工大学电子信息与通信工程学院,西北大学信息科学与技术学院
【出 处】
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天津理工大学学报
【发表日期】
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2008年4期
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