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<正>灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数,这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采用圆形均厚膜设计,但由于膜片本身
硅压力传感器的灵敏度和非线性分析
【摘 要】
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<正>灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数,这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采用圆形均厚膜设计,但由于膜片本身
【机 构】
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【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1994年04期
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