连续CO_2激光对熔石英表面的增强处理研究

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研究了连续CO2激光预辐照对熔石英表面增强的影响,通过CO2激光对熔石英表面均匀加热,用原子力显微镜和偏光显微镜观察了熔石英表面微观结构变化,发现熔石英表面形成压应力层,表面微裂纹和凹凸度减少。并用调Q1.06μm激光对熔石英表面损伤,其损伤阈值提高了1.53倍。 The effect of continuous CO2 laser pre-irradiation on the surface enhancement of fused silica was studied. The surface of fused quartz was heated by CO2 laser. The microstructure of fused silica surface was observed by atomic force microscopy and polarized light microscope. The compressive stress layer was found on the surface of fused silica, Surface microcracks and asperities decrease. And use transfer Q1.06μm laser on the fused silica surface damage, the damage threshold increased by 1.53 times.
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