【摘 要】
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本文研究了电镀添加剂聚二硫二丙烷磺酸钠（SPS）、3-巯基-1-丙烷磺酸钠（MPS）和整平剂（L）对通孔电镀的均镀能力（TP）影响。借助多物理场耦合方法，计算出不同厚径比通孔内外的流场和电场分布，结合电化学测试手段和通孔电镀实验，研究不同厚径比通孔电镀TP与电镀添加剂体系的相对关系。结果表明，厚径比越大，孔内外的对流差距越大；对于低厚径比（1∶5）通孔，MPS得到的TP最大（2.85）；对于高厚径
【机 构】
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重庆文理学院电子信息与电气工程学院
【基金项目】
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重庆市教育委员会科学技术研究项目（KJQN202101321和JQN202101306）； 重庆市自然科学基金（2022NSCQ-MSX2217）； 中国电子科技集团公司第九研究所揭榜挂帅项目（编号：2022SK-014）； 重庆文理学院人才引进项目（R2019FDQ12和R2016D
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本文研究了电镀添加剂聚二硫二丙烷磺酸钠（SPS）、3-巯基-1-丙烷磺酸钠（MPS）和整平剂（L）对通孔电镀的均镀能力（TP）影响。借助多物理场耦合方法，计算出不同厚径比通孔内外的流场和电场分布，结合电化学测试手段和通孔电镀实验，研究不同厚径比通孔电镀TP与电镀添加剂体系的相对关系。结果表明，厚径比越大，孔内外的对流差距越大；对于低厚径比（1∶5）通孔，MPS得到的TP最大（2.85）；对于高厚径比（6∶1）通孔，整平剂得到的TP最大（0.9）。
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