【摘 要】
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用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程．得到了粒子密度、电子能量和电场的动态分布图．通过对功率密度的推导和鞘层厚度的定量定义，发现两者之间存在一定的函数关系．此外
【机 构】
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华中理工大学模具技术国家重点实验室
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用流体动力学方法研究了射频放电的动态演变过程．得到了粒子密度、电子能量和电场的动态分布图．通过对功率密度的推导和鞘层厚度的定量定义，发现两者之间存在一定的函数关系．此外，动态分布图还表明：放电的演变主要发生在鞘层内部，两鞘层的演变相差１８０°相位角，极板材料对放电有影响．
The dynamic evolution of radio frequency discharge was studied by hydrodynamics method. The dynamic distribution of particle density, electron energy and electric field was obtained. Through the derivation of power density and the quantitative definition of sheath thickness, we found that there is a certain functional relationship between the two. In addition, the dynamic profile also shows that the evolution of the discharge mainly occurs inside the sheath. The evolution of the two sheaths differs by 180 ° from each other, and the material of the plate affects the discharge.
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