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本文对等离子刻蚀技术的专利申请量、主要申请人、分类号分布进行统计分析。
等离子刻蚀技术综述
【摘 要】
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本文对等离子刻蚀技术的专利申请量、主要申请人、分类号分布进行统计分析。
【机 构】
：
国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2017年8期
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