溅射输运理论中的经典散射截面

来源 :淮南工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：quake

【摘要】

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利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别.计算表明,对于Born-Mayer相互作用势碰撞散射,双幂截面可以给出比

【作者】

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张竹林

【机构】

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淮南工业学院数理系

【出处】

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淮南工业学院学报

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

散射截面碰撞级联溅射输运理论双幂截面 Born-Mayer相互作用势单幂截面 Sputtering Scattering cross section

【基金项目】

：

安徽省教育厅自然科学基金

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利用溅射理论中常用的Lindhard标度相互作用势碰撞散射分析了Sigmund单幂散射截面与双幂散射截面之间的区别.计算表明,对于Born-Mayer相互作用势碰撞散射,双幂截面可以给出比单幂截面好得多的描述.特别对于Urbassek Kr-C 相互作用势,只有利用双幂截面求解输运方程才能计算出反冲密度函数比较好的近似值.

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