正交实验法优选电沉积Co—Pt—W磁性薄膜制备工艺

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利用正交设计L25(5^6)安排实验,分别以矫顽力和磁滞回线的方形度为考察指标,通过极差分析和方差分析优化Co—Pt—W磁性薄膜电沉积制备工艺,结合工业生产的实际需求,得到Na2WO4·2H2O及(NH4)2C6H6O7浓度分别为0、08L、0、198mol/L,电流密度为5mA/cm^2,温度为60℃的制备条件为最佳组合。在此条件下制备了Co—Pt—W薄膜样品,并对其磁性能进行验证,对结构和形貌进行了测量。结果表明hcp结构有利于电沉积Co—Pt—W薄膜的硬磁性能。
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