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静电键合作为MEMS工艺中的一种重要的封装工艺,应用日益广泛。静电键合的键合时间是键合工艺中最重要的控制参数之一,但却没有统一的定义。在理论分析和一定量的实验的基础上,分析了静电键合的机理,提出以静电键合中的迁移电荷数来定义键合完成情况的理念。
静电键合完成时间探析
【摘 要】
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静电键合作为MEMS工艺中的一种重要的封装工艺,应用日益广泛。静电键合的键合时间是键合工艺中最重要的控制参数之一,但却没有统一的定义。在理论分析和一定量的实验的基础上
【机 构】
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黑龙江科技学院电气与信息工程学院
【出 处】
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煤炭技术
【发表日期】
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2008年7期
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