透明导电氧化物薄膜及其器件

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氧化物由具有变化的晶体结构和离子组成,其在自然界储量丰富与环境有良好的相容性,因此开发透明导电氧化物(TCOs)及其器件上存在巨大的潜力。透明导电氧化物(TCOs)及其器件可以应用于平板显示器、太阳能电池、防霜玻璃和红外反射膜等诸多方面。文章对n-型透明导电氧化物(n-TCOs)、p-型透明导电氧化物(p-TCOs)、无定形透明导电氧化物(a-TCOs)、全氧化物透明二极管(OTDs)和氧化物透明薄膜晶体管(TTFTs)的种类、结构及导电机制进行综述。
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