高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究

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研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节.在基于DSP数字闭环控制器的基础上,通过理论建模、程序仿真和实验验证,对驱动环节进行了优化设计.在驱动环节中采用了模拟速度环、PI校正环节和线性功放,使工作台在低速下有较快的响应和较小的稳态误差.实验结果表明,使用驱动环节后的伺服控制系统有利于提高母盘的刻录精度.
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