【摘 要】
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我国第一条可满足 0 2 5微米线宽集成电路要求的 8英寸硅单晶抛光片生产线 ,近日在北京有色金属研究总院建成投产 ,它标志着我国深亚微米超大规模集成电路用硅单晶抛光片的
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我国第一条可满足 0 2 5微米线宽集成电路要求的 8英寸硅单晶抛光片生产线 ,近日在北京有色金属研究总院建成投产 ,它标志着我国深亚微米超大规模集成电路用硅单晶抛光片的生产达到世界先进水平。这项由国家计委支持的“直径 8英寸硅单晶抛光片国家高技术产业化示范工程”项目
Our first 8-inch silicon single crystal polishing chip production line that can meet the requirement of 0 2 5 micron line width integrated circuit was put into operation recently in Beijing Nonferrous Metal Research Institute. It marks the development of China’s deep sub-micron VLSI silicon single Crystal polishing film production reached the world advanced level. This project of “National Hi-Tech Industrialization Demonstration Project of Diameter 8 Inch Silicon Monocrystalline Polishing Pad” supported by State Development Planning Commission
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