THE EFFECT OF DIAMOND FILM NUCLEATION AND GROWTH IN DIFFERENT SUBSTRATE PRETREATMENT METHODS

来源 :Journal of Wuhan University of Technology-Materials Science | 被引量 : 0次 | 上传用户：zye284818093

【摘要】

：

The diamond film on single crystal silicon substrate in three kinds of substrate is deposited by pretreatment method using microwave plasma, the diamond film is

【作者】

：

周健

【机构】

：

WuhanUnivTechnol

【出处】

：

Journal of Wuhan University of Technology-Materials Science

【发表日期】

：

1999年3期

【关键词】

：

MICROWAVE plasma DIAMOND film SUBSTRATE PRETREATMENT NUCLEATION microwave plasma

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The diamond film on single crystal silicon substrate in three kinds of substrate is deposited by pretreatment method using microwave plasma, the diamond film is analyzed using SEM and Raman, the reasons why substrate pretreatment affects nucleation and gr

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