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以反式－２－丁烯为主工作气体，采用低压等离子体化学气相沉积法制备ＣｘＨ１－ｘ薄膜，研究了在不同的Ｈ２与反式２－丁烯流量比下制备的ＣｘＨ１－ｘ薄膜的傅里叶变换红外光谱（ＦＴ－ＩＲ）及ＸＰＳ谱的特性，初步探讨了ＣｘＨ１－ｘ的生长机理，膜中ｓｐ＾３杂化碳原子和ｓｐ＾２杂化碳原子的数量以及两者的比例与沉积条件有关。