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微尺度铣磨复合加工是一种兼具微铣削与微磨削特点的新型加工工艺．为给微铣磨复合刀具参数优化提供理论依据和数据参考，用立方氮化硼（CBN）微铣磨复合刀对不同材料进行微铣磨复合加工试验，并与微铣削加工进行对比，研究刀具直径和磨粒粒度对工件表面质量的影响规律．结果表明：选择合适的刀具参数能使微铣磨复合加工表面粗糙度达到亚微米级，且优于微铣削表面质量；在一定范围内减小磨粒粒径或增大刀具直径能够提高微铣磨复合加工的表面质量，且磨料粒度对表面粗糙度的影响更为显著．