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利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和气压等参数的关系曲线.
反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究
【摘 要】
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利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和
【机 构】
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大连理工大学物理系
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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