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介绍磁控阴极溅射法镀膜玻璃的生产原理、特点和影响镀膜玻璃质量的原因和解决的办法。讨论了氩气对膜层的影响、环境对膜层的牢固度的影响、原片质量及洗涤后二次污染对膜层的影响。指出溅射效果的好坏与现场的环境有密切的关系。
影响磁控阴极溅射法镀膜玻璃质量的原因及解决办法
【摘 要】
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介绍磁控阴极溅射法镀膜玻璃的生产原理、特点和影响镀膜玻璃质量的原因和解决的办法。讨论了氩气对膜层的影响、环境对膜层的牢固度的影响、原片质量及洗涤后二次污染对膜层
【机 构】
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中国耀华玻璃集团公司镀膜玻璃厂
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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1994年3期
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