【摘 要】
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提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移
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提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。
The structure and control scheme of two-dimensional precision micro-motion table are proposed. Driven by a linear motor, driven by the flotation guide rail to achieve horizontal x, y two directions of micro-displacement movement, while the use of grating sensor feedback control. Laser displacement sensor in z direction for non-contact measurement.
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